Алекса́ндр Алекса́ндрович Орлико́вский ( 12 июня 1938 года , Москва — 1 мая 2016 года , Москва) — советский и российский физик, доктор технических наук (1982), профессор (1984), академик РАН (2008), директор и научный руководитель Физико-технологического института РАН (ФТИАН).

Биография

Родился в 1938 году в семье белоруса , уроженца Витебской губернии , участника Гражданской войны , начальника штаба 8-й Дальневосточной кавалерийской дивизии ОКДВА полковника РККА Александра Ивановича Орликовского и москвички из бывшей купеческой семьи Натальи Сергеевны Мальковой. Ещё до рождения А.А. Орликовского его отец был репрессирован .

Научная карьера

Выпускник Московского инженерно-физического института 1961 года .

В 1961 — 1963 годах работал в Союзном научно-исследовательском институте приборостроения.

В 1963 — 1966 годах — аспирант Московского института электронного машиностроения .

В 1969 — 1984 годах (последовательно) старший преподаватель, доцент, профессор кафедры интегральных полупроводниковых схем (ныне кафедра интегральной электроники и микросистем) Московского института электронной техники .

В 1981 — 1985 годах — старший научный сотрудник сектора микроэлектроники Физического института им. П. Н. Лебедева (ФИАН), в 1985 — 1988 годах заведующий лабораторией микроструктурирования и субмикронных приборов отдела микроэлектроники Института общей физики (ИОФАН).

С 1988 года (после выделения отдела в Физико-технологический институт ) заведующий лабораторией ( 1988 — 2001 ), заместитель директора по научной работе ( 2001 — 2005 ), директор ( 2005 — 2015 ), научный руководитель ФТИАН ( 2015 — 2016 ).

Начиная с работы в МИЭТ, научная карьера и деятельность Орликовского была тесно связана с деятельностью академика К.А. Валиева . Орликовский, как и Валиев, последовательно переходил сначала в ФИАН, затем в ИОФАН и в ФТИАН. В 2005 году , когда Валиев ушёл с должности директора ФТИАН, новым директором был избран именно Орликовский.

Читал лекции на кафедре физических и технологических проблем микроэлектроники факультета физической и квантовой электроники МФТИ .

Член-корреспондент РАН ( 2000 ), академик РАН ( 2006 ) по Отделению нанотехнологий и информационных технологий .

Скончался 1 мая 2016 года в Москве . Похоронен на Троекуровском кладбище (участок 25а) .

Основные научные результаты

• Выполнены с внедрением в спецаппаратуре пионерские работы по полупроводниковым интегральным схемам памяти (концепция, схемы выборки, структуры, коллективные явления).
• Разработаны плазменные процессы (травления, осаждения, имплантации и др.) в технологии кремниевой наноэлектроники; разработаны методы мониторинга плазменных процессов, созданы высокочувствительные детекторы момента окончания процессов; разработан томограф низкотемпературной плазмы для контроля 2В-распределений концентраций радикалов и ионов.
• Разработаны оригинальные конструкции СВЧ и ВЧ источников высокооднородных потоков плотной плазмы; созданы автоматизированные технологические плазменные установки, предназначенные для применения как в исследовательских, так и в промышленных целях.
• Разработаны новые технологии силицидизации контактов к мелкозалегающим p-n переходам; получены приоритетные результаты в исследованиях кинетики фазообразования силицидов.
• Разработана физическая модель баллистических нано транзисторов со структурой «кремний на изоляторе» с учетом квантовых эффектов; созданы нанотранзисторы с суб-100 нм каналами.

Награды

• Орден Дружбы
• Премия Правительства Российской Федерации в области науки и техники
• Премия Правительства Российской Федерации в области образования ( 2013 год ) — (совм. с проф. ФРТК МФТИ С.Н. Гаричевым , проф. А.В. Старовойтовым , проф. Ю.В. Протасовым и др.) за научно-практическую разработку "Создание базы знаний "Электроника" на основе генерации серии тематических баз и банков данных по фундаментальным разделам физической и прикладной электроники и издание серии учебников и учебных пособий "Электроника в техническом университете"

Примечания

Ссылки

• // Сайт РАН