Хромолитография
— цветная литография, для создания которой используются несколько печатных форм.
В микроэлектронике
Литография (
планарная технология
) — совокупность технологических операций, используемых при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и сверхпроводниковых наноструктур. Для формирования и
травления
рельефного рисунка на поверхности подложки используются: