Тонкоплёночный транзи́стор (TFT, англ. thin-film transistor ) — разновидность полевого транзистора , при которой как металлические контакты, так и полупроводниковый канал проводимости изготавливаются в виде тонких плёнок (от 1/10 до 1/100 микрона).

История

Изобретение тонкоплёночных транзисторов датируется февралём 1957 года, когда , сотрудник RCA , оформил патент на тонкоплёночную МОП-структуру , в которой в качестве диэлектрика затвора использовался монооксид германия .

TFT в дисплеях

Тонкоплёночные транзисторы применяются в нескольких типах дисплеев.

Например, во многих ЖК-дисплеях используются TFT как элементы управления активной матрицей на жидких кристаллах . Однако сами тонкоплёночные транзисторы, как правило, не являются достаточно прозрачными.

В последнее время TFT стали применяться во многих OLED -дисплеях как элементы управления активной матрицей на органических светодиодах ( AMOLED ).

В первых дисплейных тонкоплёночных транзисторах, появившихся в 1972 году, использовался селенид кадмия. В настоящее время материалом для тонкоплёночных транзисторов традиционно служит аморфный кремний (amorphous silicon, сокращённо a-Si), а в матрицах с высоким разрешением используется поликристаллический кремний (p-Si). В Токийском институте технологий была найдена альтернатива аморфному кремнию — оксид индия, галлия и цинка (англ. Indium gallium zinc oxide, сокращённо IGZO) . TFT на основе IGZO используется, например, в дисплеях фирмы Sharp.

Примечания

Ссылки

• , учебное пособие кафедры физики твёрдого тела Петрозаводского государственного университета
• с подсветкой от органических светодиодов