Наноэлектромеханические системы ( НЭМС ) — класс устройств, объединяющих в себе электронные и механические компоненты в нанометровом масштабе (до 100 нанометров ).

НЭМС являются логическим продолжением развития микроэлектромеханических систем (МЭМС) на пути миниатюризации . НЭМС используются в качестве высокочастотных осцилляторов (до 10 ГГц), наномоторов и модуляторов. Выделяют два направления в создании НЭМС:

• уменьшение существующих МЭМС-устройств,
• создание принципиально новых молекулярных устройств.

Кроме того, в НЭМС применяют новейшие материалы, такие как графен и углеродные нанотрубки . К важнейшими классам НЭМС относят с большой фундаментальной частотой и .

В настоящее время наноэлектромеханические системы могут изготавливаться как методами «сверху вниз», к которым относятся традиционные методы микроэлектроники (оптическая и электронно-лучевая литография ), так и методами «снизу вверх», такими как молекулярное распознавание и самосборка .

Ссылки

• При написании этой статьи использовался материал из издания « Словарь нанотехнологических терминов » (2009—…), доступного по лицензии Creative Commons .