Гидрокси́д тетраметиламмо́ния (TMAH, TMAOH — от англ. t etra m ethyl a mmonium h ydroxide ) это четвертичное аммонийное соединение с молекулярной формулой (CH ₃ ) ₄ NOH, сильное органическое основание . Он используется как для кремния . Также, слабые растворы, используются для проявления фоторезиста в процессе фотолитографии . Поскольку он является , он очень эффективен для удаления фоторезиста. Также используется как поверхностно-активное вещество при синтезе ферромагнитных жидкостей , чтобы препятствовать слипанию её частиц.

Токсичность

Раствор TMAH является сильным основанием . Чистый TMAH практически не имеет запаха, загрязнённый триметиламином (который применяется в производстве четвертичных аммониевых солей) имеет запах мертвой рыбы.

Анизотропный травитель

TMAH относится к семейству растворов четвертичных гидроксидов аммония и широко используется для кремния. Типичная температура травления 70°-90 °C, типичная концентрация 5 %-25 % TMAH по массе в водном растворе. Скорость травления кремния увеличивается с ростом температуры и падает с ростом концентрации TMAH. Грубость травления кремниевой поверхности увеличивается с ростом концентрации TMAH, при концентрации 20 % получается гладкая поверхность травления.

Распространённые материалы для масок при длительном травлении в TMAH включают в себя диоксид кремния (химически осаждённый из газовой фазы при пониженном давлении ) и нитрид кремния . Нитрид кремния имеет незначительную скорость травления в TMAH; скорость травления в TMAH для диоксида кремния зависит от качества плёнки, но в целом имеет порядок 0.1 нм/минуту.

Это заготовка статьи об органическом веществе . Помогите Википедии, дополнив её.