Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы
сокр., ПХО; ПХГФО иначе
плазмохимическое газофазное осаждение
;
осаждение из паровой фазы стимулированное плазмой
(
англ.
plasma-enhanced chemical vapor deposition
) — процесс химического осаждения
тонких плёнок
из паровой фазы при низком давлении с использованием
высокочастотной плазмы
.
Содержание
Описание
Технология плазмохимического осаждения использует
газоразрядную
плазму для разложения реакционного газа на активные
радикалы
. Применение различных приёмов возбуждения плазмы в реакционном объёме и управление её параметрами позволяет:
- интенсифицировать процессы роста покрытий;
- проводить осаждение аморфных и поликристаллических плёнок при значительно более низких температурах подложки;
- более качественно управлять процессами формирования заданного микрорельефа, структуры, примесного состава и других характеристик покрытия по сравнению с аналогичными процессами при
химическом осаждении из газовой фазы
(CVD), основанными на термическом разложении реакционного газа
.
↑
Журавлёва Наталья Геннадиевна, Наймушина Дарья Анатольевна.
(неопр.)
.
Роснано
. Дата обращения: 21 августа 2012.
1 ноября 2012 года.
Литература
Киреев В., Столяров А.
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. —
М.
: Техносфера, 2006. — 192 с. —
ISBN 5-94836-039-3
.
НТЦ Нанотехнология, 2006. — www.nano.org.ua
Передовые плазменные технологии // Intech, 2008. — www.plasmasystem.ru
Д.Толливер, Р.Новицки, Д.Хесс и др.; Под ред. Н.Айнспрука, Д.Брауна.
Плазменная технология в производстве СБИС. —
М.
: Мир, 1987. — 469 с.
Данилин Б.С.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. —
М.
: Энергоатомиздат, 1989. — 328 с.
Ивановский Г. Ф., Петров В. И.
Ионно-плазменная обработка материалов. —
М.
: Радио и связь, 1986. — 232 с.
Попов В. Ф., Горин Ю. Н.
Процессы и установки электронно-ионной технологии. —
М.
: Высш. шк., 1988. — 255 с. —
ISBN 5-06-001480-0
.
Виноградов М.И., Маишев Ю.П.
Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии. —
М.
: Машиностроение, 1989. — 56 с. —
ISBN 5-217-00726-5
.
Соснин Н. А., Ермаков С. А., Тополянский П. А.
. Руководство для инженеров. Изд-во Политехнического ун-та. СПб.: 2013. - 406 с.