Khandelwal, Manish; Kerrigan, Sean; Girard, Jean-Marc; Sanchez, Antonio; Zhang, Peng. Si-containing film forming composition and method of forming Si-containing film on substrate. 2017 WO 2017165626 A1.
Литература
Руководство по неорганическому синтезу: В 6-ти т. / Ред. Брауэр Г.. —
М.
: Мир, 1985. — Т. 3. — 392 с.