Трихлорсила́н ( ТХС, силан трёххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан ) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.

Внешний вид и свойства

Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха. Производство данного продукта требует от персонала повышенной внимательности и осторожности ввиду токсичности трихлорсилана. Попадание на кожу даже небольших капелек чревато, как минимум, весьма болезненным и плохо заживающим химическим ожогом; большое кол-во же способно причинить тяжёлые увечья, вплоть до отделения мышечной ткани от костей.

Применение

Трихлорсилан является сырьём для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана (которые также используются в синтезе поликремния ), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника , где он используется для эпитаксиального осаждения плёнок монокристаллического кремния.

Производство

Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем СССР мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. К 2010 году трихлорсилан производился на четырёх российских предприятиях в Усолье-Сибирском (завод « Усольехимпром » закрыт в 2017 году, по состоянию на 2023 год проводятся работы по утилизации опасных материалов, включая трихлорсилан ), Новосибирске (ООО «Альфагаз»), Дзержинске (ООО «Фирма „ХОРСТ“»), Новочебоксарске и на Украине, в Запорожье .

Примечания