Вакуумная арматура — трубопроводная арматура , обеспечивающая выполнение своих функций при рабочих абсолютных давлениях менее 0,1 МПа (1,0 кгс / см² ) . К ней относятся вспомогательные, обычно типовые устройства вакуумных систем, в том числе:

• вентили запорные и регулирующие ;
• затворы — для перекрытия проходов с большим поперечным сечением;
• натекатели клапанного и игольчатого типов — для точного дозирования весьма малых количеств газа , или трубчатого типа, открывающие проток газа при нагревании капиллярной трубки ;
• вводы электроэнергии, охлаждающей воды или жидких газов;
• окна смотровые — для наблюдения за процессами в вакууме, для вывода различных видов излучения ;
• некоторые виды устройств для передачи в вакуумные объёмы механического движения;
• механические вакуумметры (другие типы вакуумметров составляют ).

От вакуумной арматуры требуется весьма высокая герметичность всех её деталей и соединений и очень малое отделение газа с её стенок и . Соединения арматуры низкого вакуума уплотняют прокладками из вакуумной резины, подвижные штоки — сальниковыми устройствами специальной конструкции. В системах высокого и сверхвысокого вакуума для подвижных штоков обычно применяются сильфоны ; прокладки для арматуры сверхвысокого вакуума делают из специальных сортов термостойкой резины, некоторых видов пластмасс, пластичных металлов .

Привод вакуумных клапанов и затворов может быть ручным (обозначения соответственно КСВР, ЗСВР), электропневматическим (КСВП, ЗСВП), электромагнитным (КСВМ) .

Проводимость вакуумной арматуры

Теоретическая (в молекулярном режиме) U , л / с , для воздуха ( M = 28,8, T = 300 K ) составляет:

• для вакуумных клапанов условным проходом d см, установочным размером по ГОСТ 25197 e см

  ${\displaystyle U={12,2d^{3} \over 2e+0,7d}}$

  (0,7 — поправочный коэффициент),

• для вакуумных затворов условным проходом d см, строительной длиной H см

  ${\displaystyle U=12,2{d^{3} \over H}}$ .

Течения газа в вязкостном и молекулярно-вязкостном режиме могут быть рассчитаны, исходя из теории подобия ; для подобных геометрически систем проводимость зависит от площади сечения, соотношения эффективных длины и диаметра, показателя адиабаты газа, числа Kn , и в меньшей степени от чисел Re и M .

См. также

• Вакуумный фланец
• Вакуумное соединение

Примечания