Ртутный пароструйный диффузный насос — одна из конструкций вакуумного насоса , используется для достижения высокого вакуума. В отличие от прежде разработанных конструкций, не имеет теоретического предела достижимого давления . Запатентован немецким физиком в 1913 году.

Конструкция и принцип действия

Конструкция пароструйного диффузионного насоса сходна с устройством эжектора , но его принцип работы основан не на законе Бернулли , а на диффузии откачиваемого газа в струю пара . После конденсации пара газ, вынесенный из области высокого вакуума, откачивается форвакуумным насосом . Использование сопла заметно увеличивает производительность при низком давлении: за счет более заостренной струи уменьшается подпирающее давление пара. Как и в молекулярном насосе , области предварительного и высокого вакуума не разделены поршнем, клапанами или уплотняющей жидкостью. Существует множество конструкций данного насоса, которые отличаются в основном формой сопла.

Пароструйный диффузионный насос и паровой инжекторный насос часто используют как ступени двуступенчатого насоса. Паровой инжектор хорошо работает при большом форвакуумном давлении, и используется в основном как предварительная ступень.

Токсичность ртути привела к замене её на более безопасные и удобные рабочие жидкости, например, масло. отличаются в деталях конструкции, но используют тот же принцип.

История разработки

В 1901 году русский физик П. Н. Лебедев проводил эксперименты с использованием вакуумных установок. В его установках для достижения высокого вакуума, использовался модифицированный ртутный поршневой насос , где остаточные молекулы газа захватывались парами ртути и откачивались вместе с ними. Идея использовать пары ртути для удаления остаточного газа привлекла внимание многих ученых.

В 1913 году В. Геде после серии экспериментов разработал и запатентовал конструкцию диффузионного насоса. Эта разработка оказалась весьма перспективной для работ, связанных с получением глубокого вакуума.

В дальнейшем теоретические основы работы насоса исследовались многими авторами и его конструкция многократно совершенствовалась. В 1916 году С. А. Боровик разработал модификацию насоса, позволяющую использовать её при высоких давлениях предварительного вакуумирования, до 1-3 мм рт. ст. В том же году было опубликовано описание насоса Ленгмюра , имевшего в 50 раз более высокую скорость откачки, чем оригинальная конструкция Геде .

Применение

Применяется в микроэлектронной промышленности в качестве дополнительного насоса для получения сверхвысокого вакуума.

См. также

• Ртутно-поршневой насос

Примечания

Литература

• Борисов В.П. // Вакуум: от натурфилософии до диффузионного насоса. — М. : НПК «Интелвак», 2001.
• [bse.sci-lib.com/particle020507.html Паро-ртутный насос Ленгмюра (иллюстрация)] — статья из Большой советской энциклопедии