Исто́чники пла́змы — устройства, предназначенные для создания плазмы .

Создание плазмы требует по меньшей мере частичной ионизации нейтральных атомов и/или молекул среды. В технике, как правило, для создания плазмы используются те или иные виды газового разряда .

Источники плазмы высокого (от 1000 Па до атмосферного и, редко, выше) давления называют плазмотронами или плазменными горелками. В них, как правило, плазма образуется в специальной разрядной камере, сквозь которую продувается плазмообразующий газ. Наиболее часто используются дуговой или индукционный разряд . Для небольших мощностей (до нескольких кВт) распространены также СВЧ плазмотроны .

Источники плазмы для низких давлений не имеют общего названия и классифицируются по принципу действия:

• Дуговые:
  • с холодным катодом ;
  • с накалённым катодом ;
  • двухступенчатые;
• На основе , в частности, с ;
• Индуктивно-связанные :
  • с катушкой в форме соленоида ;
  • с плоской катушкой;
  • на основе геликонного разряда
• На основе сверхвысокочастотного разряда , в том числе с использованием:
  • электронного циклотронного резонанса ;
  • разряда на поверхностной волне ;
• На основе разряда в скрещенных полях:
  • источники Холла;
  • источники с анодным слоем.

Источники плазмы имеют множество применений, в частности источники света и плазменная обработка материалов.

См. также

• Плазмотрон
• Ионный источник
• Плазменная обработка

Литература

• Popov O.A. High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance. — Mill Road, Park Ridge, New Jersey, USA: Noyes Publications, 1995.
• Габович М. Д. Плазменные источники ионов. — Киев: Наукова думка, 1964. — 224 с.

• Жуков М.Ф. Электродуговые нагреватели газа (плазмотроны). — М. : Наука, 1973. — 232 с.

• Барченко В.Т. Технологические вакуумно-дуговые источники плазмы. — СПб. : Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2013. — 242 с. — ISBN 978-5-7629-1366-9 .

• Аксенов И. И. Вакуумная дуга: источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование. — Киев: Наукова думка, 2012. — 727 с.

• Попов В. Ф., Горин Ю. Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии. — М. : Высш. шк., 1988. — 255 с. — ISBN 5-06-001480-0 .

• Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии. — М. : Машиностроение, 1989. — 56 с. — ISBN 5-217-00726-5 .