SMIF (аббр. от англ. S tandard M echanical I nter F ace - Стандартный Механический ИнтерФейс) — стандарт ( ) E19-1105 на механическое оборудование для автоматизированных микроэлектронных производств. Контейнеры SMIF позволяют хранить и перемещать наборы полупроводниковых пластин между установками, сохраняя повышенную чистоту.

История

Технология разработана в 1980-е годы в Hewlett-Packard , Пало-Альто (система «micronauts») для использования в чистых помещениях. Контейнеры SMIF ( англ. SMIF Pod ) служат для хранения и транспортировки нескольких полупроводниковых пластин в специальной кассете ( англ. wafer cassette ). Внутри контейнера поддерживается более высокая степень чистоты . Пластины располагаются горизонтально. В нижней части контейнера находится дверца, через которую кассета с пластинами загружается и выгружается из контейнера.

Целью SMIF является дополнительная изоляция пластин для предохранения их от загрязнения. Работа с контейнерами, загрузка и выгрузка пластин из них проводится автоматизированными загрузочными устройствами, являющимися частью технологического оборудования (например, степпер может иметь 2 SMIF-порта для контейнеров: один для пластин, не прошедших обработку, и другой для обработанных пластин). Таким образом, загрузка пластин не требует операций, проводимых непосредственно человеком. Внутренняя среда внутри контейнера и оборудования не контактирует с внешними потоками воздуха.

Контейнеры имеют идентификационные элементы (номер, штрихкод, электронные ярлыки). Их корпус изготовлен из пластика. Для транспортировки контейнеров могут применяться люди или роботизированные системы (называемые AMHS , от Automated Material Handling System ; например, подвесные монорельсовые системы )

SMIF применяется при работе с пластинами диаметром до 200 мм. Для более крупных пластин (300 и 450 мм) применяется стандарт FOUP ( F ront O pening U nified P od ; SEMI E47.1-1106).

Кроме работы с пластинами, контейнеры могут применяться и для работы с фотолитографическими масками .

Примечания