Особенность-ориентированное позиционирование (ООП, англ. FOP — feature-oriented positioning ) — способ прецизионного перемещения зонда сканирующего микроскопа по исследуемой поверхности, при котором особенности (объекты) поверхности используются в качестве опорных точек. В ходе ООП зонд перемещается из начальной точки A поверхности (окрестности начальной особенности) в конечную точку B (окрестность конечной особенности) вдоль некоторого маршрута, проходящего через промежуточные особенности поверхности. Кроме указанного допустимо использование другого названия метода — объектно-ориентированное позиционирование.

Различают ООП “вслепую”, когда координаты особенностей, по которым производится перемещение зонда, заранее неизвестны и ООП по готовой “карте” особенностей, когда относительные координаты всех особенностей известны, например, были получены в ходе предварительного особенность-ориентированного сканирования (ООС). Разновидностью указанных способов является перемещение зонда по навигационной структуре.

Метод ООП может использоваться в “снизу вверх” для прецизионного перемещения зонда / наноассемблера по поверхности подложки. Причём, ООП, однажды выполненное по некоторому маршруту, затем может быть точно воспроизведено необходимое число раз. После перемещения в заданную позицию выполняется воздействие на поверхность или манипуляция объектом поверхности ( наночастицей , молекулой , атомом ). Все операции осуществляются в автоматическом режиме. При наличии грубого позиционера шагающего типа метод ООП обеспечивает прецизионное перемещение зонда по поверхности на неограниченное расстояние. В многозондовых инструментах ООП подход позволяет последовательно применить к особенности/объекту поверхности или к заданной точке окрестности особенности/объекта любое число специализированных технологических и/или аналитических зондов. Указанная возможность открывает перспективу построения сложного нанопроизводства, состоящего из большого числа технологических, измерительных и контрольных операций.

См. также

• Особенность-ориентированное сканирование

Литература

1. R. V. Lapshin. (англ.) // Nanotechnology : journal. — UK: IOP, 2004. — Vol. 15 , no. 9 . — P. 1135—1151 . — ISSN . — doi : .

2. R. V. Lapshin. // Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology (англ.) / H. S. Nalwa. — USA: American Scientific Publishers, 2011. — Vol. 14. — P. 105—115. — ISBN 1-58883-163-9 .

3. Р. Лапшин. (рус.) // Электроника: Наука, Технология, Бизнес : журнал. — Российская Федерация: Техносфера, 2014. — № Спецвыпуск “50 лет НИИФП” . — С. 94—106 . — ISSN .

4. D. W. Pohl, R. Möller. (англ.) // (англ.) ( : journal. — USA: AIP Publishing, 1988. — Vol. 59 , no. 6 . — P. 840—842 . — ISSN . — doi : .

5. B. S. Swartzentruber. (англ.) // Physical Review Letters : journal. — USA: American Physical Society, 1996. — Vol. 76 , no. 3 . — P. 459—462 . — ISSN . — doi : .

Ссылки

• от 5 октября 2013 на Wayback Machine , Research section, Lapshin's Personal Page on SPM & Nanotechnology