Interested Article - Эксимерный лазер
- 2020-09-29
- 1
Эксимерный лазер — разновидность ультрафиолетового газового лазера , широко применяемая в глазной хирургии ( лазерная коррекция зрения ) и полупроводниковом производстве .
Термин эксимер ( англ. excited dimer ) означает возбуждённый димер и обозначает тип материала, используемого в качестве рабочего тела лазера.
Первый в мире эксимерный лазер был изобретен в 1970, а представлен в 1971 году Николаем Басовым , В. А. Даниличевым, А.Г. Молчановым и Ю. М. Поповым, в Физическом институте им. П. Н. Лебедева в Москве . Лазер использовал димер ксенона (Xe 2 ), возбуждаемый пучком электронов для получения вынужденного излучения с длиной волны 172 нм. В дальнейшем другие группы изобретателей Avco Everett, Sandia Laboratories, Научно-технический центр Northrop и Военно-морскую исследовательскую лабораторию правительства США ввели усовершенствования и стали использовать смеси благородных газов с галогенами (например, Xe Br ), что было запатентовано в 1975 году Джорджем Хартом и Стюартом Сирлесом из исследовательской лаборатории ВМС США , которая также разработала лазер на смеси XeCl, который возбуждается с помощью микроволнового разряда.
Лазерное излучение эксимерной молекулы происходит вследствие того, что она имеет «притягивающее» (ассоциативное) возбуждённое состояние и «отталкивающее» (не ассоциативное) основное — то есть молекул в основном состоянии практически не существует. Это объясняется тем, что благородные газы, такие как ксенон или криптон высокоинертны и обычно не образуют химических соединений . В возбуждённом состоянии (вызванном электрическим разрядом ), они могут образовывать молекулы друг с другом (димеры) или с галогенами, такими как фтор или хлор . Поэтому появление молекул в возбуждённом связанном состоянии автоматически создаёт инверсию населённостей между двумя энергетическими уровнями. Такая молекула, находящаяся в возбуждённом состоянии, может отдать свою энергию в виде спонтанного или вынужденного излучения , в результате чего молекула переходит в основное состояние, а затем очень быстро (в течение пикосекунд) распадается на составляющие атомы.
Несмотря на то, что термин димер относится только к соединению одинаковых атомов, а в большинстве эксимерных лазеров используются смеси благородных газов с галогенами, название прижилось и используется для всех лазеров аналогичной конструкции.
Длина волны эксимерного лазера зависит от состава используемого газа, и обычно лежит в ультрафиолетовой области:
Эксимер | Длина волны |
---|---|
Ar 2 | 126 нм |
Kr 2 | 146 нм |
F 2 | 157 нм |
Xe 2 | 172 нм |
ArF | 193 нм |
KrCl | 222 нм |
KrF | 248 нм |
XeBr | 282 нм |
XeCl | 308 нм |
XeF | 353 нм |
Эксимерные лазеры обычно работают в импульсном режиме с частотой следования импульсов от одного до нескольких сотен герц, у некоторых моделей частота может достигать 2 кГц; также возможна генерация единичных импульсов. Импульсы излучения обычно имеют длительность от 10 до 30 нс и энергию от единиц до сотен миллиджоулей. Мощное ультрафиолетовое излучение таких лазеров позволяет их широко применять в хирургии (особенно глазной ), в процессах фотолитографии в полупроводниковом производстве, при микрообработке материалов, в производстве ЖК панелей, а также в дерматологии . Сегодня эти устройства довольно громоздки, что является недостатком при широком медицинском применении (см. LASIK ), однако их размеры постоянно уменьшаются благодаря современным разработкам.
См. также
Ссылки
- ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР - Физическая энциклопедия. В 5-ти томах. — М.: Советская энциклопедия. Главный редактор А. М. Прохоров. 1988.
- Эксимерные лазеры, под ред. Ч. Роудза, пер. с англ., M., 1981
- 2020-09-29
- 1