История создания и совершенствования конструкции микроскопа охватывает более 400 лет и включает следующие основные этапы:

• 1590 — голландские изготовители очков и его сын Захарий Янсен , по свидетельству своих современников Пьера Бореля и , изобрели составной оптический микроскоп .
• 1609 — Галилео Галилей изобретает составной микроскоп с выпуклой и вогнутой линзами .
• 1612 — Галилей представляет оккиолино ( итал. occhiolino «маленький глаз; глазок») польскому королю Сигизмунду Третьему .
• 1619 — Корнелиус Дреббель презентует в Лондоне составной микроскоп с двумя выпуклыми линзами.
• 1622 — Дреббель показывает своё изобретение в Риме .
• 1624 — Галилей показывает свою оккиолино принцу Федерику , основателю Национальной академии деи Линчеи .
• 1625 — (англ.) ( , друг Галилея из Академии рысеглазых , предлагает для нового изобретения термин микроскоп по аналогии со словом телескоп .
• 1664 — Роберт Гук публикует свой труд «Микрография» , собрание биологических гравюр микромира, где вводит термин клетка для структур, которые им были обнаружены в пробковой коре. Книга, вышедшая в сентябре 1664 (часто датируется 1665 годом ), оказала значительное влияние на популяризацию микроскопии , в основном из-за своих впечатляющих иллюстраций.

• 1674 — Антони ван Левенгук улучшает микроскоп до возможности увидеть одноклеточные организмы . Микроскоп Левенгука был крайне прост и представлял собой пластинку, в центре которой была установлена линза. Наблюдателю нужно было смотреть через линзу на образец, закреплённый с другой стороны, через который проходил яркий свет от окна или свечи. Несмотря на простоту конструкции, микроскоп позволял получить увеличение, в несколько раз превышающее микроскопы того времени, что позволило впервые увидеть эритроциты , бактерии ( 1683 ), дрожжи , простейших , сперматозоиды ( 1677 ), строение глаз насекомых и мышечных волокон , инфузории и многие их формы. Левенгук изготовил более пятисот линз и по крайней мере 25 микроскопов различных типов, из которых до настоящего времени сохранилось только девять. Эти микроскопы способны увеличивать изображение в 275 раз, однако существуют свидетельства, что некоторые микроскопы Левенгука обладали 500-кратным увеличением.
• 1863 — Генри Клифтон Сорби разрабатывает поляризационный микроскоп, чтобы исследовать состав и структуру метеоритов .
• 1866 — 1873 — Эрнст Аббе открывает число Аббе и первым разрабатывает теорию микроскопа, что становится прорывом в технике создания микроскопов, которая до того момента в основном основывалась на методе проб и ошибок . Компания «Карл Цейс» использует это открытие и становится ведущим производителем микроскопов того времени.
• 1931 — Эрнст Руска начинает создание первого электронного микроскопа по принципу просвечивающего электронного микроскопа (Transmission Electron Microscope — TEM). В качестве самостоятельной дисциплины формируется электронная оптика . За эту работу в 1986 году ему будет присвоена Нобелевская премия .
• 1936 — Эрвин Вильгельм Мюллер изобретает полевой эмиссионный микроскоп .
• 1938 — (англ.) ( строит другой ТЕМ .
• 1951 — Эрвин Мюллер изобретает полевой ионный микроскоп и первым видит атомы .
• 1953 — Фриц Цернике , профессор теоретической физики , получает Нобелевскую премию по физике за своё изобретение фазово-контрастного микроскопа .
• 1955 — (англ.) ( , профессор микроскопии, опубликовал теоретические основы дифференциальной интерференционно-контрастной микроскопии .
• 1967 — Эрвин Мюллер добавляет время-пролётный масс-анализатор к своему полевому ионному микроскопу, создав первый (англ.) ( и позволив тем самым производить химическую идентификацию каждого индивидуального атома.
• 1981 — Герд Бинниг и Генрих Рорер разрабатывают сканирующий туннельный микроскоп (Scanning Tunneling Microscope — STM).

• 1986 — Герд Бинниг, Куэйт и Гербер создают сканирующий атомно-силовой микроскоп (Atomic Force Microscope — AFM). Бинниг и Рорер получают Нобелевскую премию за изобретение сканирующего туннельного микроскопа.
• 1988 — , , и (англ.) ( применили позиционно-чувствительный детектор в зондирующем атомном микроскопе, позволяя с помощью него видеть положение атомов в трёхмерном пространстве .
• 1988 — Кинго Итайя (Kingo Itaya) изобретает (англ.) ( .
• 1991 — Изобретён (англ.) ( (Метод зонда Кельвина, Kelvin Probe Force Microscopy, KPFM).

Примечания