Tokyo Electron Limited ( яп. 東京エレクトロン株式会社 то:кё: эрэкуторон кабусики-гайся , TYO : ) или TEL — японская компания производитель электроники и полупроводников, со штаб-квартирой в картвеле Акасака , район Минато , Токио , Япония . Одна из крупнейших в мире компаний производителей оборудования для производства полупроводников. По доле рынка крупнейшая в Японии и третья в мире. Компания разрабатываем, производит и продает оборудование для производства полупроводников, интегральных схем, плоскопанельных дисплеев и фотогальванических элементов, сетевое оборудование и электронные компоненты. В промышленности и на фондовом рынке Tokyo Electron Limited часто называют TEL или Tokyo Electric.

Компания TEL наиболее известна как поставщик оборудования для изготовления интегральных схем, плоскопанельных дисплеев и фотогальванических элементов. Tokyo Electron Device ( яп. 東京エレクトロンデバイス株式会社 то:кё: эрэкуторон дэбайсу кабусики-гайся , TYO : ) , или TED , является дочерней компанией TEL, специализирующейся на полупроводниковых устройствах, электронных компонентах и ​​сетевом оборудовании. По состоянию на 2011 год TEL являлась крупнейшим производителем оборудования для производства интегральных схем и плоскопанельных дисплеев.

Описание

11 ноября 1963 года Токуо Кубо и Тосио Кодака основали компанию Tokyo Electron Laboratories Incorporated, в значительной степени финансируемую Tokyo Broadcasting System (TBS) , с капиталом более пяти миллионов иен. Позже в том же году их офис открылся в главном здании TBS и начал производить тысячи устройств контроля качества и импортировать диффузионные печи производства Thermco, а также продавать автомобильные радиоприемники японского производства.

Компания открыла офис в Сан-Франциско, Калифорния а их новый филиал Pan Electron в 1968 году зарекомендовал себя как единственный дистрибьютор импортных электронных компонентов в регионе.

Год спустя они открыли свой офис в Йокогаме и основали Teltron, крупного производителя и дистрибьютора автомобильных стереосистем, расширив свою штаб-квартиру, чтобы заполнить все здание TBS-2, и увеличив свой капитал до 100 миллионов иен.

Продукты

Оборудование для производства полупроводников

TEL производит оборудование для производства полупроводников для следующих целей:

Термическая обработка

Нанесение тонких слоев диэлектрического материала между транзисторами на поверхность кремниевой пластины в процессе нагретого химического осаждения из газовой фазы при низком давлении или процессе окисления.

Фоторезистивное покрытие/проявление

Покрытие фоторезистом и проявка для проецирования микроскопического рисунка схемы на пластину в фотолитографии.

Плазменное травление

Подготовка влажной поверхности

Очистка поверхности пластины для удаления посторонних частиц или загрязнений, таких как пыль.

Химическое осаждение из газовой фазы с одной пластины

Осаждение тонких слоев различных материалов, таких как вольфрам, силицид вольфрама, титан, нитрид титана и оксид тантала.

Зондирование пластин

Зондовые устройства для тестирования функциональности и производительности каждого кристалла на пластине.

Модификация материала/легирование

Модификация поверхности и легирование с использованием технологии газовых кластерных ионов.

Корректирующее травление/обрезка

Корректирующее травление и обрезка тонких пленок, таких как кремний, нитрид кремния, диоксид кремния, нитрид алюминия и металлов.

Интегрированная метрология (совместная разработка TEL и )

Расширенная упаковка

Исследования и разработки

Передовой центр разработки процессов TEL расположен в Нирасаки . У TEL также есть Технологический центр в Амагасаки , и Сендайский центр проектирования и разработки в Сендае . TEL Technology Center, America, LLC в Олбани , является научно-исследовательским центром в США . TEL является одним из партнеров ИМЕК , международного микро- и наноэлектронного научно-исследовательского центр в Лёвене , Бельгия .

В июле 2014 года TEL объявила о создании совместной сборочной лаборатории с Институтом микроэлектроники в Сингапуре. Лаборатория сосредоточена на исследованиях и разработках упаковки и сборки на уровне пластин, чтобы удовлетворить потребности Интернет вещей в устройствах с высокой производительностью и низким энергопотреблением.

История

• Ноябрь 1963 года – Основана компания Tokyo Electron Laboratory Co., Ltd. с инвестициями Tokyo Broadcasting System (TBS, в настоящее время: TBS Holdings ).
• Февраль 1968 года – Основание TEL-Thermco Ltd. (позже ) в качестве совместного предприятия с Thermco Corporation в США.
• Июнь 1976 года – TEL-Thermco разрабатывает первый в мире окислитель высокого давления.
• Октябрь 1978 года – Tokyo Electron Laboratory Co., Ltd. сменила название на нынешнее название компании Tokyo Electron Limited.
• Июнь 1980 года – Котируется во второй секции Токийской фондовой биржи.
• Март 1984 года – Переведен в первую секцию Токийской фондовой биржи.
• Август 1990 года – Основана компания Tokyo Electron FE Co., Ltd. и в полном объеме вышла на рынок оборудования для производства жидкокристаллических дисплеев (ЖК-дисплеев).
• Октябрь 1990 года – Начало работу компания .
• Август 1994 года – Штаб-квартира переехала в .
• Октябрь 1999 года – Смена отрасли на 1-й секции Токийской фондовой биржи (с «торговли» на «электрооборудование»).
• Март 2003 года – Tokyo Electron Device Limited котируется во второй секции Токийской фондовой биржи.
• Апрель 2006 года – Tokyo Electron AT Co., Ltd. разделилась на три компании (Tokyo Electron AT Co., Ltd., Tokyo Electron Tohoku Co., Ltd., Tokyo Electron TS Co., Ltd.).
• Февраль 2008 года – Основание Tokyo Electron PV Co., Ltd. в качестве совместного предприятия с Sharp .
• 18 февраля 2008 года – Штаб-квартира компании переехала в небоскрёб .
• Май 2012 года – приобретение NEXX Systems (США) и создание TEL NEXX, Inc.
• Ноябрь 2012 года – Распущена компания Tokyo Electron PV Co., Ltd.
• 10 июля 2019 года – Объявлено о партнерстве с BRIDG в США.

См. также

• Технологический процесс в электронной промышленности
• Tokyo Broadcasting System Holdings

Примечания

Ссылки

• — официальный сайт Tokyo Electron