Interested Article - Микроскопия медленных электронов

Микроскопия медленных электронов ( англ. low-energy electron microscopy, LEEM ) — вид микроскопии, в которой для формирования изображения поверхности твердого тела используют упруго отражённые электроны низких энергий.

Описание

Изображение в микроскопе медленных электронов фазового перехода от реконструкции 7×7 к реконструкции 1×1 на поверхности Si(111). Фаза 7×7 (светлые участки) декорирует атомные ступени, тогда как поверхность террас в основном покрыта структурой 1×1 (тёмные участки). Размер поля изображения 5 мкм.

Микроскопия медленных электронов была изобретена Э. Бауэром в начале 1960-х годов и стала достаточно широко использоваться в исследованиях поверхности, начиная с 1980-х годов. В микроскопе первичные электроны низких энергий (обычно до 100 эВ) попадают на исследуемую поверхность, а отражённые электроны используются для формирования фокусированного увеличенного изображения поверхности. Пространственное разрешение такого микроскопа составляет до десятков нанометров. Контраст изображения обусловлен вариацией отражательной способности поверхности по отношению к медленным электронам из-за различия в ориентации кристалла, поверхностной реконструкции, покрытия поверхности адсорбатом. Так как микроскопические изображения могут быть получены очень быстро, микроскопия медленных электронов часто используется для изучения динамических процессов на поверхности , таких, как рост тонких плёнок, травление, адсорбция и фазовые переходы в реальном масштабе времени.

Литература

Оура К., Лифшиц В. Г., Саранин А. А. и др. Введение в физику поверхности / В. И. Сергиенко.. — М. : Наука, 2006. — 490 с.
Tromp R.M. Low energy electron microscopy // IBM / J. Res.. — Develop, 2000. — С. 503—516.

Ссылка

При написании этой статьи использовался материал из по лицензии Creative Commons статьи:
Зотов Андрей Вадимович, Саранин Александр Александрович. // .