Оксид гафния(IV) представляет собой бесцветные кристаллы, в мелкодисперсном состоянии — белый порошок, кристаллизуется в нескольких кристаллических модификациях:
Моноклинная сингония
, параметры ячейки
a
=
0,511 нм,
b
=
0,514 нм,
c
=
0,528 нм,
β = 99,73°,
плотность
9,68 г/см³,
устойчива при температуре ниже
1650 °С.
Тетрагональная сингония
, параметры ячейки
a
=
0,514 нм,
c
=
0,525 нм,
плотность
10,01 г/см³,
устойчива при температуре от
1650 °С
и до
≈2500 °С.
Кубическая сингония
, параметры ячейки
a
=
0,511 нм,
плотность
10,43 г/см³,
устойчива при температуре выше
≈2500 °С.
В микроэлектронике применяется как замена оксида кремния при изготовлении
МДП-транзисторов
благодаря высокому коэффициенту относительной
диэлектрической проницаемости
, для аморфной формы находится в пределах от 20 до 25, что в 5—7 раз превышает этот показатель у традиционно использовавшегося в качестве подзатворного диэлектрика
диоксида кремния
.
Позволяет диагностировать и лечить
зубной налет
при регулярном стоматологическом осмотре
.
Примечания
Pan Kwi Park, Sang-Won Kang:
Enhancement of dielectric constant in HfO
2
thin films by the addition of Al
2
O
3
.
In:
Applied Physics Letters.
89, 2006, S. 192905,
.
M. N. Jones, Y. W. Kwon, D. P. Norton:
Dielectric constant and current transport for HfO2 thin films on ITO.
In:
Applied Physics A.
81, 2005, S. 285–288,
.
Intel
.
(неопр.)
(11 ноября 2007). Дата обращения: 23 сентября 2018.
23 декабря 2018 года.
Александр Дубов.
(неопр.)
. nplus1.ru. Дата обращения: 21 августа 2018.
21 августа 2018 года.
Литература
Химическая энциклопедия / Редкол.: Кнунянц И. Л. и др.. —
М.
: Советская энциклопедия, 1988. — Т. 1. — 623 с.
Справочник химика / Редкол.: Никольский Б. П. и др.. — 2-е изд., испр. —
М.
—
Л.
: Химия, 1966. — Т. 1. — 1072 с.
Справочник химика / Редкол.: Никольский Б. П. и др.. — 3-е изд., испр. —
Л.
: Химия, 1971. — Т. 2. — 1168 с.
Лидин Р. А. и др.
Химические свойства неорганических веществ: Учеб. пособие для вузов. — 3-е изд., испр. —
М.
: Химия, 2000. — 480 с. —
ISBN 5-7245-1163-0
.
Рипан Р., Четяну И.
Неорганическая химия. Химия металлов. —
М.
: Мир, 1972. — Т. 2. — 871 с.