Tokyo Electron Limited ( яп. 東京エレクトロン株式会社 то:кё: эрэкуторон кабусики-гайся ) — японская компания, производитель оборудования для изготовления интегральных схем и плоскопанельных дисплеев , по доле на рынке крупнейший в Японии и третий в мире . Штаб-квартира находится в картвеле Акасака , район Минато , Токио , Япония . В промышленности и на фондовом рынке Tokyo Electron Limited часто называют TEL или Tokyo Electric.

Tokyo Electron Device ( яп. 東京エレクトロンデバイス株式会社 то:кё: эрэкуторон дэбайсу кабусики-гайся , TYO : ) , или TED , является дочерней компанией TEL, специализирующейся на полупроводниковых устройствах, электронных компонентах и сетевом оборудовании .

Крупнейшими акционерами являются The Master Trust Bank of Japan (27 % акций) и (11 %) .

История

11 ноября 1963 года Токуо Кубо и Тосио Кодака основали компанию Tokyo Electron Laboratories Inc., большую часть стартового капитала в 5 млн иен было получено от Tokyo Broadcasting System (TBS) . Позже в том же году офис компании открылся в главном здании TBS. Компания начала экспорт японских видеомагнитофонов и автомобильных радиоприёмников и импорт комплектующих и оборудования, включая диффузионные печи производства Thermco .

В феврале 1968 года было основано TEL-Thermco Ltd., совместное предприятие с Thermco Corporation в США. В июне 1976 года TEL-Thermco разрабатало первый в мире окислитель высокого давления. В октябре 1978 года Tokyo Electron Laboratory сменила название на Tokyo Electron Limited. В июне 1980 года акции компании были размещены во второй секции Токийской фондовой биржи , а в марте 1984 года переведены в первую секцию биржи .

В августе 1990 года была основана дочерняя компания Tokyo Electron FE Co., Ltd., занявшаяся разработкой и производством оборудования для изготовления жидкокристаллических дисплеев (ЖК-дисплеев). В октябре того же года начала работу компания . В августе 1994 года штаб-квартира переехала в .

В апреле 2006 года Tokyo Electron AT Co., Ltd. разделилась на три компании (Tokyo Electron AT Co., Ltd., Tokyo Electron Tohoku Co., Ltd., Tokyo Electron TS Co., Ltd.). В феврале 2008 года была основана Tokyo Electron PV Co., Ltd., совместное предприятие с Sharp . 18 февраля 2008 года штаб-квартира компании переехала в небоскрёб .

В мае 2012 года была куплена компания NEXX Systems (США) и переименована в TEL NEXX, Inc. В ноябре 2012 года была ликвидирована компания Tokyo Electron PV Co., Ltd. В сентябре 2013 года было достигнуто соглашение о слиянии Tokyo Electron с Applied Materials , однако в 2015 году оно было заблокировано как нарушающее антимонопольное законодательство .

10 июля 2019 года было объявлено о партнёрстве с BRIDG в США .

Деятельность

Выручка за 2022/23 финансовый год составила 2,21 трлн иен (16,5 млрд долларов). Основными рынками для компании были КНР (24 % выручки), Тайвань (20 %), Южная Корея (16 %), США (16 %), Япония (10 %), Европа (8 %) . Крупнейшими покупателями были Intel (16 % продаж), TSMC (15 %) и Samsung Electronics (13 %) .

В списке крупнейших публичных компаний мира Forbes Global 2000 за 2023 год Tokyo Electron заняла 556-е место .

Оборудование для производства полупроводников

TEL производит оборудование для производства полупроводников для следующих этапов :

• термическая обработка — нанесение тонких слоев диэлектрического материала между транзисторами на поверхность кремниевой пластины в процессе нагретого химического осаждения из газовой фазы при низком давлении или процессе окисления
• фоторезистивное покрытие/проявление — покрытие фоторезистом и проявка для проецирования микроскопического рисунка схемы на пластину в фотолитографии
• плазменное травление
• подготовка поверхности пластин — очистка поверхности пластин для удаления посторонних частиц или загрязнений
• химическое осаждение из газовой фазы — осаждение тонких слоев различных материалов, таких как вольфрам , силицид вольфрама, титан , нитрид титана и оксид тантала
• зондирование пластин — зондовые устройства для тестирования функциональности и производительности каждого кристалла на пластине
• модификация материала/ легирование — модификация поверхности и легирование с использованием технологии газовых кластерных ионов
• корректирующее травление/обрезка — корректирующее травление и обрезка тонких плёнок, таких как кремний, нитрид кремния, диоксид кремния, нитрид алюминия и металлов
• интегрированная метрология (совместная разработка TEL и KLA Corporation )
• корпусирование интегральных схем .

Исследования и разработки

Центр разработки процессов TEL расположен в Нирасаки . У TEL также есть Технологический центр в Амагасаки , и Сендайский центр проектирования и разработки в Сендае . TEL Technology Center, America, LLC в Олбани , является научно-исследовательским центром в США . TEL является одним из партнеров ИМЕК , международного микро- и наноэлектронного научно-исследовательского центра в Лёвене ( Бельгия ) .

В июле 2014 года TEL объявила о создании совместной сборочной лаборатории с Институтом микроэлектроники в Сингапуре. Лаборатория сосредоточена на исследованиях и разработках упаковки и сборки на уровне пластин, чтобы удовлетворить потребности Интернет вещей в устройствах с высокой производительностью и низким энергопотреблением .

См. также

• Технологический процесс в электронной промышленности
• Tokyo Broadcasting System Holdings

Примечания

Ссылки

• — официальный сайт Tokyo Electron